küçükresim|Bir elektron demeti litografi düzeneği Elektron demeti litografi, odaklanmış bir elektron demeti ile, elektrona duyarlı malzemelerle kaplı yüzeylere şekiller çizilmesi işlemidir. Elektron demeti bu malzemenin çözünürlüğünü değiştirerek, istenilen kısımlarda bu malzemenin kalkmasını sağlayarak çizimler yapılmasını mümkün kılar. == Kaynakça == Litografi Kategori:Taş baskı