In the waveguide , the gases are energized and convert in tubes , and to a plasma. 가스 발생 튜브는 플라즈마 흐름을 가스 분배 튜브로 유도하고, 여기서 플라즈마가 멸균 챔버로 공급됩니다. The gas generator tubes are enclosed in tubular metal cooling tubes and.