వస్తువు, గుణాల మధ్య ఉండే అవినాభావ సంబంధమే సమవాయం. ఒక వస్తువు, దాని గుణాలు వేరు కావు. వస్తువు లేకుండా గుణాలుండవు. గుణాలు లేకుండా వస్తువు ఉండదు. అలాగే అవయవి, అవయవాలు; చలనం, చలించే వస్తువు; కారణం, కార్యం - ఒకదానిలో ఒకటి విడదీయరానిదిగా ఉండటమే సమవాయం.

ఒక వస్తువును అంతకంతకూ చిన్న భాగాలుగా చేస్తూ పొతే చివరకి ఇక విభజన సాధ్యంకాని స్థితి వస్తుంది. ఆ స్థితిలో మిగిలే సూక్ష్మాతిసూక్ష్మ వస్తువే అణువు. అది నిరవయవి. అంటే దానిలో భాగాలుండవు. అది అచ్ఛేద్యం.

కిటికీ సందులోనుంచి గదిలోకి వచ్చే సూర్య రశ్మిలో సూక్ష్మమైన నలకలు తేలుతూ, చలిస్తూ ఉంటాయి. వాటిని త్రస రేణువులంటారు. ప్రతీ త్రస రేణువు త్ర్యణుకం. అంటే అది మూడు ద్వ్యణుకాలతో ఏర్పడుతుంది. ప్రతి ద్వ్యణుకం రెండు అణువులతో ఏర్పడుతుంది. అణువు కంటే సూక్ష్మ వస్తువు లేదు. అణువులలో ఫృథ్వీ అణువులు, జలాణువులు, అగ్ని అణువులు, వాయవ్యాణువులు ఇలా భిన్నాణువులుంటాయి. అణువుల సంయోగంవల్ల ప్రపంచం ఏర్పడింది. అణువులను ఎవరూ ఉత్పత్తి చేయలేదు. అవి అనాదిసిద్ధమయినవి, నిత్యమయినవి, శాశ్వతమయినవి.

వైశేషికులది అసత్కార్యవాదం. అంటే కారణం వేరు, కార్యం వేరు. ప్రతి కార్యానికీ కారణం ఉన్నప్పటికీ కారణంలో కార్యం మొదటినుంచీ ఉండదు. కార్యం అనేది కొత్తగా పుట్టుకువస్తుంది. కార్యంలో కనబడే లక్షణాలు ఏవీ కారణంలో కనబడవు. మట్టిలోనుంచి కుండ తయారయినా, మట్టి లక్షణాలు వేరు, కుండ లక్షణాలు వేరు. కుండ ఆకారం మట్టిలో ఉండదు. విత్తనం పగలగొట్టి చూస్తే సూక్ష్మ రూపంలో చెట్టు కనిపిస్తుందా? నూలు దారాలలో వస్త్రలక్షణాలు ఎక్కడ ఉన్నాయి? నిజానికి చెట్టు, కుండ, వస్త్రం ఇవన్నీ కొత్తగా పుట్టుకువచ్చిన కార్యాలు.

సమవాయం
ద్రవ్యం
సామాన్యం
నిరవయవములు